Купить установку магнетронного распыления: как сделать выбор?

Магнетронное распыление — это физический метод нанесения тонких пленок, при котором ионы распыляемого металла бомбардируют подложку, вызывая ионно-плазменную реакцию. Установка магнетронного распыления состоит из магнетрона, который является источником плазмы, подложкодержателя и вакуумной камеры.
При выборе установки магнетронного распыления необходимо учитывать следующие факторы:

1. Тип магнетрона

Существуют три основных типа магнетронов:

• Плоский магнетрон - плоский катод с нанесенной на его поверхности мишенью.
• Цилиндрический магнетрон - цилиндрический катод с мишенью в виде цилиндра.
• Кольцевой магнетрон - кольцевой катод с мишенью в виде кольца.
  

  2. Тип подложки

  Подложкой может быть любой материал, на который необходимо нанести пленку. Подложки могут быть плоскими, цилиндрическими или сферическими.

  3. Размер вакуумной камеры

  Вакуумная камера должна быть достаточно большой, чтобы вместить подложку и магнетрон. Размер камеры обычно определяется размером подложки.

  4. Источник питания

  Источник питания обеспечивает электроэнергией магнетрон и подложкодержатель. Источник питания должен соответствовать типу магнетрона и размерам подложки.

  5. Дополнительные особенности

  Некоторые установки магнетронного распыления могут иметь дополнительные особенности, такие как:

• Система контроля температуры подложки
• Система контроля потока газа
• Система диагностики плазмы ... и др.